A system, method, and computer program product are provided for scanning objects such as computer chips. A near-field scanning Single Electron Transistor (SET) is used to detect features of the object. In particular, the SET detects variations in an electric field surrounding or emanating from the object. The variation in the field may be associated with an irregularity in the object, such as an open in the circuitry of a chip. In the case of a chip or a multi-chip module, a voltage is applied to the line containing the suspected open. If an actual open is present, the open will be manifested in an irregularity in the electric field associated with the line. The SET detects the irregularity in the field. For the SET to operate, a sufficiently cold operating temperature is maintained for the SET. A very low (cryogenic) temperature allows the use of a larger, more sensitive SET. Scanning SETs are known in the literature, but in such systems the object to be scanned must also be at cryogenic temperatures. In the invention described herein, the object to be scanned can be left at a temperature in its normal environmental temperature range. This temperature range is referred to hereinafter as the ambient temperature range of the object. A chip, for example, typically operates in an ambient temperature range that includes room temperature. Data from the SET indicating irregularity in the electric field can be used to derive readout data, which can in turn be used to produce an image of the object scanned.

Ein System, eine Methode und ein Computerprogrammprodukt werden für Abtastunggegenstände wie Computerspäne zur Verfügung gestellt. Ein near-fangen, das einzelnen Elektron-Transistor ablichtet (STELLEN Sie) ein, wird verwendet, um Eigenschaften des Gegenstandes zu ermitteln. Insbesondere ermittelt der SATZ Schwankungen eines elektrischen, das Umgeben oder das Ausströmen vom Gegenstand aufzufangen. Die Veränderung auffangen kann mit einer Unregelmäßigkeit im Gegenstand, wie ein geöffnetes im Schaltkreis eines Spanes verbundenSEIN. Im Fall eines Spanes oder des Multispan Moduls, wird eine Spannung an der Linie angewendet, die das vermutete geöffnete enthält. Wenn ein tatsächliches geöffnetes anwesend ist, wird das geöffnete in einer Unregelmäßigkeit im elektrischen auffangen verbundenes mit der Linie verkündet. Der SATZ ermittelt die Unregelmäßigkeit in auffangen. Damit der SATZ, eine genug kalte Betriebstemperatur wird beibehalten für den SATZ funktioniert. Eine sehr niedrige (kälteerzeugende) Temperatur erlaubt den Gebrauch von einem größeren, empfindlicheren SATZ. Ablichtende Sätze bekannt in der Literatur, aber in solchen Systemen muß der abgelichtet zu werden Gegenstand bei den kälteerzeugenden Temperaturen auch sein. In der Erfindung, die hierin beschrieben wird, kann der abgelichtet zu werden Gegenstand bei einer Temperatur in seiner normalen Klimatemperaturspanne gelassen werden. Auf diese Temperaturspanne bezieht im folgenden als die umgebende Temperaturspanne des Gegenstandes. Ein Span z.B. funktioniert gewöhnlich in einer umgebenden Temperaturspanne, die Raumtemperatur einschließt. Daten von der GESETZTEN anzeigenunregelmäßigkeit im elektrischen fangen können verwendet werden, Auslesendaten abzuleiten auf, die der Reihe nach verwendet werden können, um ein Bild des abgelichteten Gegenstandes zu produzieren.