A ferroelectric capacitor with a ferroelectric film having a relatively larger amount of titanium constituent than zirconate constituent improves ferroelectric characteristics. The method for fabricating the ferroelectric capacitor includes the step of performing a heat treatment in an oxygen atmosphere after forming a contact opening in an insulating layer which covers an already formed ferroelectric capacitor. This heat treatment in an oxygen atmosphere can minimize undesirable side effects resulting from a platinum electrode oxidizing the ferroelectric film components.

Un condensatore ferroelectric con una pellicola ferroelectric che ha una quantità relativamente più grande di costituente di titanio che il costituente dello zirconate migliora le caratteristiche ferroelectric. Il metodo per fabbricare il condensatore ferroelectric include il punto di realizzare un trattamento termico in un atmosfera dell'ossigeno dopo avere formato un'apertura del contatto in uno strato isolante che copre un condensatore ferroelectric già formato. Questo trattamento termico in un atmosfera dell'ossigeno può minimizzare gli effetti secondari indesiderabili derivando da un elettrodo di platino che ossida i componenti ferroelectric della pellicola.