A cathode material of an electron beam device comprising 0.5 to 9.0% by weight of a rare-earth metal of the cerium group, 0.5 to 15.0% by weight of tungsten and/or rhenium, 0.5 to 10% by weight of hafnium and the balance of iridium is provided. Since the cathode material has excellent plasticity, it is easy to manufacture small-size emitters. Also, since the density of the electron emission of the cathode material is high and the working temperature is low, a long lifetime can be ensured. Also, the cathode material is useful as a cathode material of an electron beam device.

Ein Kathode Material einer Elektronenstrahlvorrichtung, die 0.5 bis 9.0% nach Gewicht eines Seltenerd- Metalls der Cergruppe, 0.5 bis 15.0% nach Gewicht Wolfram und/oder Rhenium, 0.5 bis 10% nach Gewicht Hafnium und die Balance des Iridiums enthält, wird zur Verfügung gestellt. Da das Kathode Material ausgezeichnete Plastizität hat, ist es einfach, kleine Emitter herzustellen. Auch da die Dichte der Elektronemission des Kathode Materials hoch ist und die Arbeitstemperatur niedrig ist, kann eine lange Lebenszeit sichergestellt werden. Auch das Kathode Material ist als Kathode Material einer Elektronenstrahlvorrichtung nützlich.