A system for processing a workpiece includes a base having a bowl or recess for holding a liquid. A sonic energy source, such as a megasonic transducer, provides sonic energy into a liquid in the bowl. A process reactor or head holds a workpiece between an upper rotor and a lower rotor. A head lifter lowers the head holding the workpiece into the liquid. Sonic energy is provided to the workpiece through the liquid, optionally while the head spins the workpiece. The liquid may include de-ionized water and an etchant.

Un sistema per l'elaborazione del pezzo in lavorazione include una base che ha una ciotola o un incavo per la tenuta un liquido. Una fonte di energia sonic, quale un trasduttore megasonic, fornisce l'energia sonic in un liquido nella ciotola. Un reattore o una testa trattato tiene un pezzo in lavorazione fra un rotore superiore e un rotore più basso. Un elevatore capo abbassa la tenuta capa il pezzo in lavorazione nel liquido. L'energia sonic è fornita al pezzo in lavorazione attraverso il liquido, facoltativamente mentre la testa fila il pezzo in lavorazione. Il liquido può includere l'acqua deionizzata e un etchant.