A heat capacity C.sub.1 is obtained by conducting two-dimensional thermal
analysis simulation to the cross-section of a wiring. Next, based on
one-dimensional approximate equation of .theta..sub.0 =(Q.sub.0 /2)
(.lambda..multidot.SC1).sup.-1/2 along a wiring length direction, a wiring
temperature rise .theta..sub.0 in the void is obtained. In the expression,
.theta..sub.0 is a rise in wiring temperature in the void, Q.sub.0 is a
thermal quantity of the void in the wiring, .lambda. is a heat
conductivity of the wiring and S is a cross-sectional area of the wiring.
The heat capacity C.sub.1 may be obtained from an expression C.sub.1
=.lambda.'{(w/t)+(2.80/1.15) (h/t).sup.0.222 }. In the expression, W is
wiring width, h is wiring thickness, t is substrate film thickness and
.lambda.' is the heat conductivity of the substrate film. By so obtaining,
it is possible to shorten analysis time, to save the capacity of a memory
and that of a disk for use in calculation, to obtain a simpler analysis
model and to facilitate creating a mesh.
Eine Hitzekapazität C.sub.1 wird erreicht, indem man zweidimensionale thermische Analyse Simulation zum Querschnitt einer Verdrahtung leitet. Zunächst gegründet auf eindimensionaler ungefährer Gleichung von theta..sub.0 = (Q.sub.0 /2) (lambda..multidot.SC1).sup.-1/2 entlang einer Verdrahtung Länge Richtung, ein Verdrahtung Temperatur-Aufstieg theta..sub.0 in der Lücke wird erreicht. Im Ausdruck ist theta..sub.0 ein Aufstieg in der Verdrahtung Temperatur in der Lücke, Q.sub.0 ist eine thermische Quantität der Lücke in der Verdrahtung, lambda. ist eine Hitzeleitfähigkeit der Verdrahtung und S ist ein Querschnittsbereich der Verdrahtung. Die Hitzekapazität C.sub.1 kann von einem Ausdruck erreicht werden C.sub.1 = lambda.'{(w/t)+(2.80/1.15) (h/t).sup.0.222}. Im Ausdruck ist W Verdrahtung Breite, ist h Verdrahtung Stärke, ist t Substratschichtstärke und lambda.' ist die Hitzeleitfähigkeit des Substratfilmes. Indem man so erreicht ist es möglich, Analyse Zeit zu verkürzen, die Kapazität eines Gedächtnisses und des dessen einer Scheibe für Gebrauch in der Berechnung zu speichern, ein einfacheres Analyse Modell zu erhalten und ein, Ineinandergreifen zu verursachen zu erleichtern.
