Optical mirror coatings are used for high-temperature diffusion barriers and mirror shaping. Certain materials for use as high-temperature diffusion barriers under optical mirror coatings include metals that have high melting and/or boiling points and amorphous and partially recrystallized inorganic amorphous materials that have high glass transition temperatures (Tg). Candidate metals are selected based upon the boiling point or a combination of melting point and boiling point. Candidate amorphous and partially recrystallized inorganic amorphous materials are selected based upon the glass transition temperature. Optical mirrors having such high-temperature diffusion barriers maintain reflectivity when exposed to elevated temperatures, and are particularly useful in optical Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) that are exposed to high-temperature manufacturing processes. Optical mirrors are shaped using tensile and/or compressive films.

Τα οπτικά επιστρώματα καθρεφτών χρησιμοποιούνται για την υψηλής θερμοκρασίας διαμόρφωση εμποδίων και καθρεφτών διάχυσης. Ορισμένα υλικά για τη χρήση ως υψηλής θερμοκρασίας εμπόδια διάχυσης κάτω από τα οπτικά επιστρώματα καθρεφτών περιλαμβάνουν τα μέταλλα που έχουν τα υψηλά λειώνοντας ή/και σημεία βρασμού και άμορφα και μερικώς επανακρυσταλλωμένα ανόργανα άμορφα υλικά που έχουν τις υψηλές θερμοκρασίες μετάβασης γυαλιού (Tg). Τα μέταλλα υποψηφίων επιλέγονται βασισμένος στο σημείο βρασμού ή έναν συνδυασμό σημείου τήξης και σημείου βρασμού. Τα άμορφα και μερικώς επανακρυσταλλωμένα ανόργανα άμορφα υλικά υποψηφίων επιλέγονται βασισμένος στη θερμοκρασία μετάβασης γυαλιού. Οι οπτικοί καθρέφτες που έχουν τέτοια υψηλής θερμοκρασίας εμπόδια διάχυσης διατηρούν την ανακλαστικότητα όταν εκτίθεται στις ανυψωμένες θερμοκρασίες, και είναι ιδιαίτερα χρήσιμοι στα οπτικά ηλεκτρομηχανικά συστήματα μικροϋπολογιστών (MEMS) που εκτίθενται στις υψηλής θερμοκρασίας διαδικασίες κατασκευής. Οι οπτικοί καθρέφτες διαμορφώνονται χρησιμοποιώντας τις εκτατές ή/και συμπιεστικές ταινίες.