A microelectromechanical system (MEMS) device is disclosed for determining the position of a mover. The MEMS device has a bottom layer connected to a mover layer. The mover layer is connected to a mover by flexures. The mover moves relative to the mover layer and the bottom layer. The flexures urge the mover back to an initial position of mechanical equilibrium. The flexures include coupling blocks to control movement of the mover. The MEMS device determines the location of the mover by determining the capacitance between mover electrodes located on the coupling blocks of the flexures and counter electrodes located on an adjacent layer. The coupling block moves according to a determinable relationship with the mover. As the coupling block moves, the capacitance between the mover electrode and the counter electrode changes. A capacitance detector analyzes the capacitance between the electrodes and determines the position of the mover.

Un dispositif microelectromechanical du système (MEMS) est révélé pour déterminer la position d'un moteur. Le dispositif de MEMS a une couche inférieure reliée à une couche de moteur. La couche de moteur est reliée à un moteur par des flexures. Le moteur se déplace relativement à la couche de moteur et à la couche inférieure. Les flexures poussent le moteur de nouveau à une première position d'équilibre mécanique. Les flexures incluent des blocs d'accouplement pour commander le mouvement du moteur. Le dispositif de MEMS détermine l'endroit du moteur en déterminant la capacité entre les électrodes de moteur plac sur les blocs d'accouplement des flexures et les contre-électrodes plac sur une couche adjacente. Les transferts de bloc d'accouplement selon un rapport déterminable avec le moteur. Comme transferts de bloc d'accouplement, capacité entre l'électrode de moteur et les changements de contre-électrode. Un détecteur de capacité analyse la capacité entre les électrodes et détermine la position du moteur.