A waveguide plate comprising a glass substrate (10) covered with a waveguide layer (2) has coupling grating strips following one another a distance apart, in which the coupling angle changes along parallel lines by not more than 0.1.degree./cm, preferably not more than 0.05.degree./cm. The deviation from its mean value over the total waveguide plate is not more than 0.3.degree., preferably not more than 0.15.degree.. The waveguide plate is suitable as part of a microtiter plate for chemical analyses by means of fluorescence excitation. For its production, the glass substrate (1) is covered with a photoresist layer (10) and exposed to a mercury vapour lamp via a deflecting mirror through a phase mask in the vicinity of which it is arranged, for example at the Littrow angle (.theta..sub.L) or at a right angle, then structured by reactive ion etching and provided with the waveguide layer (2) by reactive DC magnetron sputtering, in particular pulsed DC sputtering or AC-superposed DC sputtering.

Een golfgeleiderplaat die uit een glassubstraat (10) bestaat dat met een golfgeleiderlaag (2) wordt behandeld heeft koppelingsgrating stroken die elkaar een afstand volgen apart, waarin de koppelingshoek volgens parallelle lijnen door niet meer dan 0.1.degree./cm, bij voorkeur niet meer dan 0.05.degree./cm verandert. De afwijking van zijn gemiddelde waarde over de totale golfgeleiderplaat is niet meer dan 0.3.degree., bij voorkeur niet meer dan 0.15.degree.. De golfgeleiderplaat is geschikt als deel van een microtiter plaat voor chemische analyses door middel van fluorescentieopwinding. Voor zijn productie, is glassubstraat (1) behandeld en blootgesteld met een photoresist laag (10) aan een lamp van de kwikdamp via een doende afwijken spiegel door een fasemasker waarin de buurt van het, bijvoorbeeld bij de hoek Littrow (theta..sub.L) of bij een rechte hoek wordt geschikt, dan door reactieve ionenets gestructureerd en voorzien van golfgeleiderlaag (2) door het reactieve het magnetron van DC sputteren, in het bijzonder gepulseerde te sputteren of van DC ac-Boven elkaar geplaatste te sputteren van DC.