The invention relates to a plasma cell able to be fixed in a vacuum chamber by means of a first flange, having an outer envelope in which a gas under pressure (P') is added and provided in its upper part with a discharge opening, and electrodes, at least one anode and one cathode, arranged in said envelope and mounted on a second flange, to whose terminals a voltage may be applied, such as to cause ionization of the gas producing the monoatomic species which are to be discharged through the opening. Electrodes can be dismounted and are assembled on a second removable flange. Electrically insulated separation means are provided between cathode and anode(s). A gas inlet opening is provided in the lower part of the envelope.

La invención se relaciona con una célula del plasma capaz de ser fijado en un compartimiento del vacío por medio de un primer reborde, teniendo un sobre externo en el cual un gas bajo presión (P ') se agregue y se proporcione en su parte superior de una abertura de la descarga, y electrodos, por lo menos un ánodo y un cátodo, de ser arreglado en el sobre dicho y de ser montado en un segundo reborde, que a terminales un voltaje puede ser aplicado, por ejemplo a la ionización de la causa del gas produciendo las especies monoatomic que deben ser descargadas con la abertura. Los electrodos se pueden desmontar y están montados en un segundo reborde desprendible. Los medios eléctricamente aislados de la separación se proporcionan entre el cátodo y el anode(s). Una abertura de la entrada del gas se proporciona en la parte más inferior del sobre.