A multilayer mirror 1 that has elliptical reflection faces and provides a divergent angle .delta. of X-rays, is included. The elliptical reflection faces of the multilayer mirror 1 have two focal points. When an X-ray source 2 is arranged at one focal point A, and X-rays that are diverged from the X-ray source 2 are reflected at the multilayer mirror 1, the reflected X-rays converge on another focal point B. The X-ray source 2 is arranged at one focal point A of the multilayer mirror 1. Additionally, a distance L2 from the center of the reflection faces of the multilayer mirror 1 to another focal point B (in other words, convergent point of reflected X-rays) is set to make a convergent angle .theta.c of X-rays at the focal point B nearly twice as great as the divergent angle .delta.. With the above-noted configuration, both small angle resolution and intensity of incident X-rays to a sample may be optimized, and small angle scattering may be performed with high precision.

Um espelho multilayer 1 que tenha a reflexão elíptica enfrenta e fornece um delta divergent do ângulo. dos raios X, é incluído. As caras elípticas da reflexão do espelho multilayer 1 têm dois pontos focais. Quando uma fonte 2 do raio X está arranjada em um ponto focal A, e os raios X que diverged da fonte 2 do raio X estão refletidos no espelho multilayer 1, os raios X refletidos convergem em um outro ponto focal B. A fonte 2 do raio X é arranjada em um ponto focal A do espelho multilayer 1. Adicionalmente, uma distância L2 do centro das caras da reflexão do espelho multilayer 1 a um outro ponto focal B (ou seja ponto convergent de raios X refletidos) é ajustada para fazer quase duas vezes um theta.c convergent do ângulo dos raios X no ponto focal B mais grande que o delta. divergent do ângulo. Com a configuração acima-notável, amba a definição do ângulo e intensidade pequenas de raios X do incident a uma amostra podem optimized, e dispersar pequeno do ângulo pode ser executado com a precisão elevada.