A micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device passive alignment fabrication method is disclosed. In one embodiment, the method includes forming a release layer on a first substrate, forming a mirror pattern having a center mirror component and a hinge pattern supported by the release layer, forming a first passive alignment mechanism on the first substrate, forming an electrode layer on a second substrate, forming a second passive alignment mechanism on the second substrate, aligning the first and second substrates using the first and second passive alignment mechanisms, and attaching the first substrate with the second substrate by inserting a passive non-thermal bonding mechanism through the first and second passive alignment mechanisms.

Un metodo passivo di montaggio di allineamento del dispositivo dello specchio del micro-elettrotipia-meccanico-sistema (MEMS) è rilevato. In un incorporamento, il metodo include formare uno strato del rilascio su un primo substrato, formando un modello dello specchio che hanno un componente concentr dello specchio e un modello della cerniera sostenuto dallo strato del rilascio, formante un primo meccanismo passivo di allineamento sul primo substrato, formante uno strato dell'elettrodo su un secondo substrato, formando un secondo meccanismo passivo di allineamento sul secondo substrato, allineante i primi e secondi substrati usando i primi e secondi meccanismi passivi di allineamento e fissando il primo substrato con il secondo substrato inserendo un meccanismo non-termico passivo di bonding attraverso i primi e secondi meccanismi passivi di allineamento.