Embodiments of the invention comprise a new device and technique to realize an improved throughput of a BARC layer furnace deposition device. This improvement is achieved by providing for a higher flow rate of NH.sub.3 during the BARC deposition process. Also, this improvement may be achieved by reducing the temperature gradient of the BARC layer furnace deposition device to approximately 715-750.degree. C. For example, approximately a 1-10% blend of NH.sub.3 in at least one of Argon, Nitrogen, and Helium is utilized. By diluting the NH.sub.3, a higher flow rate may be utilized in the furnace deposition device, thus allowing for an increased load uniformity of the BARC layer thickness, refractive index, extinction coefficient, and reflectivity characteristics. Also, the NH.sub.3 depletion is reduced and preferably eliminated due to the higher flow rate of the diluted NH.sub.3. Further, this diluted NH.sub.3 allows for a reduced DCS requirement, thus reducing maintenance requirements, exhaust component contamination and allowing for a lowering of the particulates. The diluted NH.sub.3 is preferably supplied at approximately 200-500 SCCM, and the DCS flow rate is reduced to approximately 100-150 SCCM, at a pressure of approximately 200-350 mTorr.

As incorporações da invenção compreendem um dispositivo e uma técnica novos para realizar um throughput melhorado de um dispositivo do deposition da fornalha da camada de BARC. Esta melhoria é conseguida fornecendo para uma taxa de fluxo mais elevada de NH.sub.3 durante o processo do deposition de BARC. Também, esta melhoria pode ser conseguida reduzindo o gradient da temperatura do dispositivo do deposition da fornalha da camada de BARC a aproximadamente 715-750.degree. C. Para o exemplo, aproximadamente uma mistura 1-10% de NH.sub.3 ao menos em um do argônio, o nitrogênio, e o helium são utilizados. Diluindo o NH.sub.3, uma taxa de fluxo mais elevada pode ser utilizada no dispositivo do deposition da fornalha, assim reservando para uma uniformidade aumentada da carga da espessura da camada de BARC, do índice refractive, do coeficiente da extinção, e das características do reflectivity. Também, o depletion NH.sub.3 é reduzido e preferivelmente eliminado devido à taxa de fluxo mais elevada do NH.sub.3 diluído. Mais mais, este NH.sub.3 diluído permite uma exigência reduzida de DCS, assim reduzindo exigências de manutenção, esgote a contaminação dos componentes e permitir abaixar dos particulates. O NH.sub.3 diluído é fornecido preferivelmente em aproximadamente 200-500 SCCM, e os DCS fluem taxa são reduzidos a aproximadamente 100-150 SCCM, em uma pressão do mTorr aproximadamente 200-350.

 
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