Devices and techniques for integrating a silicon superlattice optical modulator on a silicon substrate with other circuit elements. The superlattice structure is designed to convert the indirect bandgap structure of silicon into a direct bandgap structure to achieve more efficient optical absorption. The modulator can be fabricated based on a structure of a circuit element by using standard fabrication processes for silicon integrated circuits such as metal oxide semiconductor processing.

Dispositivos y técnicas para integrar un modulador óptico del superlattice del silicio en un substrato del silicio con otros elementos de circuito. La estructura del superlattice se diseña para convertir la estructura indirecta del bandgap del silicio en una estructura directa del bandgap para alcanzar una absorción óptica más eficiente. El modulador se puede fabricar basó en una estructura de un elemento de circuito usando los procesos estándares de la fabricación para los circuitos integrados del silicio tales como proceso del semiconductor del óxido de metal.