An oblique incidence interferometer in which laser light from a laser light source is transmitted through a reference plane and is made incident upon a measurement surface from an oblique direction. The shape of the measurement surface is measured on the basis of interference fringes formed by reflected light reflected from the reference plane and reflected light reflected from the measurement surface. A deflecting element for deflecting the laser light emitted from the laser light source in order to decrease the coherence of the laser light is disposed in an optical path leading to the reference plane, the deflecting element being adapted to continuously change the direction of deflection.

Un interféromètre oblique d'incidence en lequel la lumière de laser d'une source de lumière laser est transmise par un plan de référence et est faite à incident sur une surface de mesure à partir d'une direction oblique. La forme de la surface de mesure est mesurée sur la base des franges d'interférence constituées par la lumière réfléchie réfléchie du plan de référence et la lumière réfléchie réfléchie de la surface de mesure. Un élément de déflexion pour braquer la lumière de laser émise de la source de lumière laser afin de diminuer la concordance de la lumière de laser est disposé dans un chemin optique menant au plan de référence, l'élément de déflexion étant adapté pour changer sans interruption la direction du débattement.