A method and an apparatus for producing a solid actuator employing measurement of the electric characteristic of the actuator and effecting polarization during the wire bonding process. After a wire has been bonded to pads formed on a substrate, the conduction of the wire is tested. Then, whether or not a capacitance between the pads has a preselected value is determined. Subsequently, whether or not a characteristic impedance between the pads has a preselected value is determined. Thereafter, whether or not any crack is present in the surfaces of electrodes electrically connected to the pads is determined. This is followed by the polarization of the substrate. Electrical characteristics are tested after each wire is bonded. There is also provided a storage medium storing a program for controlling the above apparatus.

Un metodo e un apparecchio per produrre un azionatore solido che impiega misura della caratteristica elettrica dell'azionatore e che effettua polarizzazione durante il processo di bonding del legare. Dopo che un legare sia legato ai rilievi formati su un substrato, la conduzione del legare è esaminata. Allora, se o non una capacità fra i rilievi ha un valore preselezionato è determinato. Successivamente, se o non un'impedenza caratteristica fra i rilievi ha un valore preselezionato è determinato. Da allora in poi, se o non alcuna crepa è presente nelle superfici degli elettrodi collegati elettricamente ai rilievi è determinato. Ciò è seguita dalla polarizzazione del substrato. Le caratteristiche elettriche sono esaminate dopo che ogni legare sia legato. Inoltre è fornito uno strumento di memorizzazione che immagazzina un programma per il controllo dell'apparecchio suddetto.