A line-narrowed excimer or molecular fluorine laser system includes a gain medium surrounded by a resonator for generating a laser beam, a discharge circuit including a plurality of electrodes for energizing the gain medium and a line-narrowing unit within the resonator for narrowing the bandwidth of the laser system. The resonator includes a deformable resonator reflector. A technique for adjusting the bandwidth of the laser system includes adjusting a surface contour of the deformable resonator reflector. A desired bandwidth may be selected manually or using a processor which automatically controls the surface contour adjustment.

Ein Linie-verengtes excimer oder molekulares ein Fluorlaser System schließt ein Gewinnmittel ein, das durch einen Resonator für das Erzeugen eines Laserstrahles, ein Entladung Stromkreis einschließlich eine Mehrzahl der Elektroden für das Anziehen des Gewinnmittels und der Linie-verengenden Maßeinheit innerhalb des Resonators für das Verengen der Bandbreite des Laser Systems umgeben wird. Der Resonator schließt einen deformable Resonatorreflektor mit ein. Eine Technik für die Justage der Bandbreite des Laser Systems schließt die Justage einer Oberflächenform des deformable Resonatorreflektors ein. Eine gewünschte Bandbreite kann manuell vorgewählt werden oder mit einem Prozessor, der automatisch die Oberflächenformjustage steuert.