A fluid delivery system for delivering a process fluid to a vacuum processing system includes a secondary containment line surrounding a process fluid line. A purge gas flows through the secondary containment line and around the process fluid line in order to flow away any leaked process fluid. Alternatively, a heated fluid flows through the secondary containment line forming a heat trace around the process fluid line to heat the process fluid line and the process fluid by means of convection, which provides for precise uniformity of temperature throughout the length of the secondary containment line. The heated fluid loses heat to the ambient environment creating a temperature gradient through which the process fluid flows. The secondary containment line may have a heating element along its length for adding heat to the heated fluid to change the temperature gradient. Two semicircular cylindrical sections fit together to form a fully circular section of the secondary containment line for covering a straight portion of the process fluid line. The secondary containment line also includes sections for covering angled sections, intersections, valve sections and other discontinuous sections of the process fluid line. In another embodiment, the heat trace includes a shell surrounding the process fluid line and in thermal contact therewith, and the shell has longitudinal holes through which cable heaters are disposed along the length of the process fluid line. Thermocouples are disposed along the length of the heat trace and provide temperature feedback to a controller that controls the amount of heat generated by the cable heaters.

Жидкое средство доставки для поставлять отростчатую жидкость к системы обработки вакуума вклюает вторичную линию сдерживания окружая отростчатую жидкую линию. Газ продувки пропускает через вторичную линию сдерживания и вокруг отростчатой жидкой линии для того чтобы пропустить прочь любая протекаемая отростчатая жидкость. Друг, нагретые жидкие подачи через вторичную линию сдерживания формируя жару трассируют вокруг отростчатой жидкой линии для того чтобы нагреть отростчатую жидкую линию и отростчатую жидкость посредством конвекции, которая обеспечивает для точного единообразия температуры в течении длины вторичной линии сдерживания. Нагретая жидкость теряет жару к окружающей окружающей среде создавая температурный градиент через отростчатая жидкость пропускает. Вторичная линия сдерживания может иметь нагревающий элемент вдоль своей длины для добавлять жару к нагретой жидкости для того чтобы изменить температурный градиент. 2 полукруглых цилиндрических раздела приспособленного совместно для того чтобы сформировать польностью круговой раздел вторичной линии сдерживания для покрывать прямую часть отростчатой жидкой линии. Вторичная линия сдерживания также вклюает разделы для разделов двинутых под углом заволакиванием, пересечений, разделов клапана и других прерывных разделов отростчатой жидкой линии. В другое воплощение, след жары вклюает раковину окружая отростчатую жидкую линию и в термально контакт therewith, и раковина имеет продольные отверстия до которые подогреватели кабеля размещаны вдоль длины отростчатой жидкой линии. Термопары размещаны вдоль длины следа жары и снабубегут обратную связь температуры регулятор контролирует количество жары произведенное подогревателями кабеля.