A semiconductor producing apparatus is capable of quickly and accurately changing a controlled variable to a target value to thereby make the controlled variable quickly follow the target value. Moreover, the controlled variable and target value can be adjusted automatically, thus improving the productivity of a process. The semiconductor producing apparatus includes a PID adjustment section to which a target value and a detected control value are inputted through an adder, a pattern generation section having an approximate function for calculating a pattern output and making it possible to change the pattern output in accordance wit parameter values of the approximate function, and a switcher for switching between an output including at least an output of the pattern generation section and an output of the PID adjustment section to thereby generate an output.

Un semiconduttore che produce l'apparecchio è capace di rapidamente ed esattamente cambiando una variabile controllata ad un valore da raggiungere quindi per fare rapidamente la variabile controllata seguire il valore da raggiungere. Inoltre, la variabile ed il valore da raggiungere controllati possono essere registrati automaticamente, così migliorando il rendimento di un processo. Il semiconduttore che produce l'apparecchio include una sezione di registrazione di PID a cui un valore da raggiungere e un valore rilevato di controllo sono immessi tramite un'addizionatrice, una sezione della generazione del modello che ha una funzione approssimativa per la calcolazione del modello prodotto e permettere di cambiare il modello prodotto nei valori di parametro di spirito di accordo della funzione approssimativa e uno switcher per la commutazione fra un'uscita compreso almeno un'uscita della sezione della generazione del modello e un'uscita della sezione di registrazione di PID quindi per generare un'uscita.