Real-time analysis of output volatiles upon UV exposure is achieved using a laboratory scale apparatus. The methods and apparatus use external or internal radiation sources, especially broad band external UV radiation. The apparatus and methods of the invention are especially useful in the analysis and screening of photoresist materials. The apparatus preferably uses FTIR or MS analysis.

L'analyse en temps réel des volatiles de rendement sur l'exposition UV est réalisée à l'aide d'un appareillage d'échelle de laboratoire. Les méthodes et les appareils emploient des sources extérieures ou internes de rayonnement, particulièrement rayonnement UV externe de large bande. Les matériel et les méthodes de l'invention sont particulièrement utiles dans l'analyse et le criblage des matériaux de vernis photosensible. L'appareil emploie de préférence l'analyse de FTIR ou de MME..