A method to maintain a movable electrode of a variable capacitor in fixed relationship with a stationary electrode by electrostatic force feedback when one capacitor electrode is grounded. The invention exploits the high quiescent capacitance and capacitance-load sensitivity of a variable-area capacitance transducer in combination with the advantage of controlling the flexible electrode with a low voltage compared to transducers with parallel-plate capacitors. The invention can be used to accurately control the position of a surface, stylus, inertial mass, valve, electrical contact, electrical component; or an optical component such as a mirror, lens, grating, filter, or holographic element.

Метод для обслуживания подвижного электрода переменного конденсатора в фикчированном отношении с неподвижным электродом электростатической силовой связью когда один электрод конденсатора будет заземлен. Вымысел эксплуатирует высокую quiescent чувствительность емкости и емкост-nagruzki датчика емкости переменн-zony in combination with преимущество контролировать гибкий электрод при низкое напряжение тока сравненное к датчикам с конденсаторами параллельн-plity. Вымысел можно использовать точно для того чтобы контролировать положение поверхности, stylus, инерциальной массы, клапана, электрического контакта, электрического компонента; или оптически компонент such as зеркало, объектив, решетка, фильтр, или голографический элемент.