In a vacuum valve including a main flow path and an auxiliary flow path for connecting a chamber port and a pump port in parallel, a main valve body for opening and closing a main valve seat in the main flow path, and an auxiliary valve body for opening and closing an auxiliary valve seat in the auxiliary flow path, the main valve body includes, in addition to a valve sealing member for opening and closing the main valve seat in a poppet manner, a flow rate adjusting portion in a gradually-tapered shape to be fitted in an inner hole of the main valve seat and the flow rate adjusting portion functions to gradually increase an exhaust flow rate when the main valve body opens after opening of the auxiliary valve body.

In een vacuümklep met inbegrip van een hoofdstroomweg en een hulpstroomweg voor het verbinden van een kamerhaven en een parallel van de pomphaven tegelijkertijd, een hoofdkleplichaam voor het openen van en het sluiten van een hoofdklepzetel in de belangrijkste stroomweg, en een hulpkleplichaam voor het openen van en het sluiten van een hulpklepzetel in de hulpstroomweg, omvat het belangrijkste kleplichaam, naast een klep verzegelend lid voor het openen van en het sluiten van de belangrijkste klepzetel in een spilkopmanier, een stroomtarief het aanpassen gedeelte in een geleidelijk aan-verminderde vorm die in een binnengat van de belangrijkste klepzetel en de stroomtarief het aanpassen gedeeltefuncties moet worden gepast om geleidelijk aan te verhogen het belangrijkste kleplichaam opent na het openen van het hulpkleplichaam.