The polishing slurry includes polishing particles having a mean particle diameter of less than about 5 .mu.m. The slurry contains at least about 0.5 total weight percent oxidizer selected from at least one of the group consisting of HNO.sub.3, Ni(NO.sub.3).sub.2, Al(NO.sub.3).sub.3, Mg(NO.sub.3).sub.2, Zn(NO.sub.3).sub.2 and NH.sub.4 NO.sub.3. A small but effective amount of a co-oxidizer selected from the group consisting of perbromates, perchlorates, periodates, persulfates, permanganates, ferric nitrate, cerium-containing salts, perbenzoic acids, nitrite compounds, perborate compounds, hypochlorite compounds, chlorite compounds and chloride compounds accelerates removal of substrates; and water forms the balance of the aqueous slurry.

Die Polierschmiere schließt die Polierpartikel ein, die einen Mittelpartikeldurchmesser von kleiner als mu.m ungefähr 5 haben. Die Schmiere enthält mindestens ungefähr 0.5 Gesamtgewichtprozente Oxidizer, der von einem mindestens der Gruppe vorgewählt wird, die aus HNO.sub.3, Ni(NO.sub.3).sub.2, Al(NO.sub.3).sub.3, Mg(NO.sub.3).sub.2, Zn(NO.sub.3).sub.2 und NH.sub.4 NO.sub.3 besteht. aber wirkungsvolles etwas eines Co-Co-oxidizer, der von der Gruppe besteht aus perbromates, Perchlorate, periodates, Persulphate, Permanganate, das Eisennitrat, Salze, perbenzoic Säuren, Nitritmittel, Perboratmittel, Hypochloritmittel, Chloritmittel und Chlorverbindung Mittel Cer-enthalten vorgewählt wird, beschleunigt Abbau der Substrate; und Wasser bildet die Balance der wäßrigen Schmiere.