A MEMS pumping device driven by electrostatic forces comprises a substrate having at least one substrate electrode disposed thereon. Affixed to the substrate is a moveable membrane that generally overlies the at least one substrate electrode. The moveable membrane comprises at least one electrode element and a biasing element. The moveable membrane includes a fixed portion attached to the substrate and a distal portion extending from the fixed portion and being moveable with respect to the substrate electrode. A dielectric element is disposed between the at least one substrate electrode and the at least one electrode element of the moveable membrane to provide for electrical isolation. In operation, a voltage differential is established between the at least one substrate electrode and the at least one electrode element which displaces the moveable membrane relative to the substrate to thereby controllably distribute matter residing between the substrate and the distal portion of the moveable membrane. In a further embodiment the MEMS pumping devices comprise more that two moveable membranes that are configured so as to maximize flow in a desired direction. Additional embodiments include more than one electrode element disposed within the moveable membrane that are capable of individual and sequential biasing to improve overall net flow in the desired flow direction.

Een pompend apparaat MEMS dat door elektrostatische krachten wordt gedreven bestaat uit een substraat dat minstens één daarop geschikte substraatelektrode heeft. Gehecht aan het substraat wordt een beweegbaar membraan dat over het algemeen de minstens één substraatelektrode bedekt. Het beweegbare membraan bestaat minstens uit één elektrodenelement en een beïnvloedend element. Het beweegbare membraan omvat een vast gedeelte in bijlage aan het substraat en een distaal zich van het vaste gedeelte uitbreidt en gedeelte dat beweegbaar met betrekking tot de substraatelektrode is. Een diëlektrisch element wordt geschikt tussen de minstens één substraatelektrode en het minstens één elektrodenelement van het beweegbare membraan om elektroisolatie te voorzien. In verrichting, wordt een voltageverschil gevestigd tussen de minstens één substraatelektrode en het minstens één elektrodenelement dat verplaatst controllably het beweegbare membraan met betrekking tot het substraat daardoor kwestie verdelen die tussen het substraat en het distale gedeelte van het beweegbare membraan verblijft. In een verdere belichaming bestaan de pompende apparaten MEMS uit meer die twee beweegbare membranen die worden gevormd om stroom in een gewenste richting te maximaliseren. De extra belichamingen omvatten meer dan één elektrodenelement dat binnen het beweegbare membraan wordt geschikt die voor het individuele en opeenvolgende beïnvloeden algemene netto stroom in de gewenste stroomrichting kunnen verbeteren.