An Ni--Fe alloy material suitable for forming a ferromagnetic Ni--Fe alloy
thin film is provided. The magnetic thin film produces a small number of
particles during sputtering, and excels in corrosion resistance and
magnetic properties. A method of manufacturing an Ni--Fe alloy sputtering
target used to make the thin film is also provided. In addition, an Ni--Fe
alloy sputtering target for forming magnetic thin films is provided. The
sputtering target is characterized in that it has: an oxygen content of 50
ppm or less; an S content of 10 ppm or less; a carbon content of 50 ppm or
less, and a total content of metal impurities other than the alloy
components of 50 ppm or less. Such an Ni--Fe alloy target can be produced
by melting and alloying high-purity materials obtained by dissolving the
raw materials in hydrochloric acid, and performing ion exchange,
activated-charcoal treatment, and electrolytic refining.
Un Ni -- Adatto materiale della lega del Fe a formare un Ni ferromagnetico -- la pellicola sottile della lega del Fe è fornita. La pellicola sottile magnetica produce un piccolo numero di particelle durante la polverizzazione ed eccelle nella resistenza della corrosione e nelle proprietà magnetiche. Un metodo di produzione del Ni -- l'obiettivo di polverizzazione della lega del Fe ha usato fare la pellicola sottile inoltre è fornito. In più, un Ni -- l'obiettivo di polverizzazione della lega del Fe per formare le pellicole sottili magnetiche è fornito. L'obiettivo di polverizzazione è caratterizzato in quanto ha: un tenore di ossigeno di 50 PPM o di di meno; un contenuto di S di 10 PPM o di di meno; un contenuto del carbonio di 50 PPM o di di meno e un contenuto totale delle impurità del metallo tranne i componenti della lega di 50 PPM o di di meno. Un tal Ni -- l'obiettivo della lega del Fe può essere prodotto fondendo ed unendo in lega i materiali di grande purezza ottenuti dissolvendo le materie prime in acido cloridrico ed effettuando lo scambio ionico, il trattamento del attiv-carbone di legna e la raffinazione elettrolitica.
