A heater lift mechanism with a ball screw linear actuator provides a relatively maintenance free lift mechanism with low starting torque and high positional accuracy. The heater lift mechanism can also be used to move wafer boats in a vertical furnace. The ball screw linear actuator has substantially reduced backlash over a conventional ACME thread lead screw.

Ένας μηχανισμός ανελκυστήρων θερμαστρών με έναν γραμμικό ενεργοποιητή βιδών σφαιρών παρέχει σε έναν σχετικά ελεύθερο μηχανισμό ανελκυστήρων συντήρησης τη χαμηλή αρχική ροπή και την υψηλή θεσιακή ακρίβεια. Ο μηχανισμός ανελκυστήρων θερμαστρών μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για να κινήσει τις βάρκες γκοφρετών σε έναν κάθετο φούρνο. Ο γραμμικός ενεργοποιητής βιδών σφαιρών έχει μειώσει ουσιαστικά τη σπασμωδική κίνηση πέρα από μια συμβατική βίδα μολύβδου νημάτων ΑΠΟΚΟΡΥΦΩΜΑΤΩΝ.