A line narrowing unit for use within an excimer or molecular fluorine laser resonator includes a dispersive prism having antireflection coatings on entrance and exit surfaces. Entrance and exit angles and an apex angle are increased to enhance the dispersive power of the prism, while the antireflective coatings limit reflective losses. Preferably, a laser beam makes a non-symmetric pass through said prism. The apex angle is preferably greater than 65.degree., or even 75.degree., and the angle of incidence and the exit angle of the beam are each preferably greater than 65.degree.. A beam expanding prism configured for enhanced beam expansion has an apex angle between within a range of 37.5.degree. and 42.5.degree., and a beam incidence angle at the entrance surface of more than 65.degree., and an antireflection coating on preferably both the entrance and exit surfaces.

Uma linha que estreita a unidade para o uso dentro de um excimer ou de um ressonador molecular do laser do fluorine inclui um prisma dispersive que tem revestimentos de antireflection em superfícies da entrada e da saída. Os ângulos da entrada e da saída e um ângulo do apex estão aumentados para realçar o poder dispersive do prisma, quando os revestimentos antireflective limitarem perdas reflexivas. Preferivelmente, um feixe de laser faz uma passagem non-symmetric através de prisma dito. O ângulo do apex é preferivelmente mais grande do que 65.degree., ou 75.degree. uniforme, e o ângulo de incidência e o ângulo da saída do feixe são cada preferivelmente mais grandes do que 65.degree.. Um prisma de expansão do feixe configurarado para a expansão realçada do feixe tem um ângulo do apex no meio dentro de uma escala de 37.5.degree. e de 42.5.degree., e um ângulo da incidência do feixe na superfície da entrada de mais do que 65.degree., e de um antireflection que reveste preferivelmente nas superfícies da entrada e da saída.