An object of the present invention is to produce and provide a microbench for achieving a highspeed, low-cost semiconductor module having a high S/N ratio. A microbench for use in mounting an optical fiber, is characterized in that a substrate comprises a ceramics having a specific resistance 10.sup.9 .OMEGA.cm or larger and a dielectric constant of 15 or less, a groove for mounting an optical fiber is disposed on the surface thereof, a semiconductor device mounting portion onto which an optical semiconductor is mounted is provided at the end portion of this groove, and an alignment mark for semiconductor mounting is disposed in this semiconductor device mounting portion. The above-mentioned ceramics is either AlN, or a ceramics having AlN as its principal component.

Um objeto da invenção atual é produzir e fornecer um microbench para conseguir um módulo highspeed, low-cost do semicondutor que tem uma relação elevada de S/N. Um microbench para o uso em montar uma fibra ótica, é caracterizado que uma carcaça compreendem um ceramics que tem um OMEGA.cm específico da resistência 10.sup.9 ou um maior e uma constante dieléctrica de 15 ou menos, um sulco para montar uma fibra ótica é disposto na superfície disso, uma parcela da montagem do dispositivo de semicondutor em que um semicondutor ótico é montado é fornecido na parcela de extremidade deste sulco, e uma marca de alinhamento para a montagem do semicondutor é disposta nesta parcela da montagem do dispositivo de semicondutor. O ceramics acima mencionado é AlN, ou um ceramics que tem AlN como seu componente principal.