A multi-beam optical systems forms a plurality of beam spots on an object surface to be exposed. The system includes a light source that emits a light beam having a plurality of peak wavelengths, a diffraction beam-dividing element that divides the light beam into a plurality of light beams exiting at the different diffraction angles, and a compensating optical system whose lateral magnification is inversely proportional to the wavelength of the light beam to compensate deviation of the diffraction angle of the diffracted light beams caused due to wavelength dependence of the diffraction beam-dividing element. The compensating optical system includes a diffractive lens component.

Os sistemas óticos de um multi-feixe dão forma a um plurality de pontos do feixe em uma superfície do objeto a ser exposta. O sistema inclui uma fonte clara que se emita um feixe luminoso que tem um plurality de wavelengths peak, um elemento feixe-divisor do diffraction que divida o feixe luminoso em um plurality dos feixes luminosos que retiram nos ângulos diferentes do diffraction, e um sistema ótico de compesação cuja a ampliação lateral fosse inversa proporcional ao wavelength do feixe luminoso compensar desvio do ângulo do diffraction dos feixes luminosos diffracted causou devido à dependência do wavelength do elemento feixe-divisor do diffraction. O sistema ótico de compesação inclui um componente diffractive da lente.