Relationship among an exciting current of each lens of an irradiation lens system including at least two stages of irradiation lenses and an electron beam aperture, an irradiation electron beam density on a sample and an area of the sample surface irradiated with an electron beam is stored in a form of a table or equations, and an exciting condition of each of the lenses of the irradiation lens system is retrieved from the relationship and set the irradiation lens system to the retrieved condition, for example, when the enlarging magnification is changed under a condition of keeping the irradiation electron beam density at a constant value. Further, trails of a region of the sample surface irradiated with the electron beam is displayed on a display unit.

Le rapport parmi un courant passionnant de chaque objectif d'un système d'objectif d'irradiation comprenant au moins deux étapes des objectifs d'irradiation et d'une ouverture de faisceau d'électrons, d'une densité de faisceau d'électrons d'irradiation sur un échantillon et d'un secteur de la surface témoin irradiée avec un faisceau d'électrons est stocké sous une forme d'une table ou d'équations, et un état passionnant de chacun des objectifs du système d'objectif d'irradiation est recherché du rapport et a placé le système d'objectif d'irradiation à l'état recherché, par exemple, quand le rapport optique agrandissant est changé dans un état de garder la densité de faisceau d'électrons d'irradiation à une valeur constante. De plus, des traînées d'une région de la surface témoin irradiée avec le faisceau d'électrons est montrées sur une unité d'visualisation.