Lactone compounds of formula (1) are novel and useful as monomers to form base resins for use in chemically amplified resist compositions adapted for micropatterning lithography. ##STR1## Letter k is 0 or 1 and m is an integer of 1-8.

Lactone de samenstellingen van formule (1) zijn nieuw en nuttig aangezien de monomeren om basisharsen voor gebruik in chemisch vergroot zich te vormen tegen samenstellingen verzetten die voor het micropatterning van lithografie worden aangepast. ## STR1 ## De brief k is 0 of 1 en m is een geheel van 1-8.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< System and method for protecting data and correcting bit errors due to component failures

> Stabilized, finely disperse low-viscosity polymer polyols with a high content of polystyrene or polystyrene copolymers

> (none)

~ 00049