Lactone compounds of formula (1) are novel and useful as monomers to form
base resins for use in chemically amplified resist compositions adapted
for micropatterning lithography.
##STR1##
Letter k is 0 or 1 and m is an integer of 1-8.
Lactone de samenstellingen van formule (1) zijn nieuw en nuttig aangezien de monomeren om basisharsen voor gebruik in chemisch vergroot zich te vormen tegen samenstellingen verzetten die voor het micropatterning van lithografie worden aangepast. ## STR1 ## De brief k is 0 of 1 en m is een geheel van 1-8.