Disclosed is a multi-beam optical system that includes a laser source, a diffractive beam dividing element that divides the light beam emitted from the laser source into a plurality of light beams, a propagation optical system through which the divided light beams propagate, a polygon mirror and a scan lens. The propagation optical system includes a curved surface mirror that is arranged such that center axes of the reflected light beams are spatially separated from center axes of the incident light beams at a predetermined separation angle. The diffractive beam-dividing element Is arranged such that the center axis of the incident light beam is inclined with respect to the normal to a diffraction grating surface thereof so as to compensate bending of a beam spot line, along which the beam spots align, depending on the separation angle of the curved surface mirror.

Gegeben ein Multilichtstrahl optisches System frei, das einen Lasersender, einen diffractive Lichtstrahl einschließt, der Element teilt, das den Lichtstrahl teilt, der vom Lasersender in eine Mehrzahl der Lichtstrahlen, in ein optisches System der Ausbreitung ausgestrahlt wird, durch die die geteilten Lichtstrahlen fortpflanzen, in einen Polygonspiegel und in ein Scan-Objektiv. Das optische System der Ausbreitung schließt einen gebogenen Oberflächenspiegel mit ein, dem so geordnet wird, daß Mitteläxte der reflektierten Lichtstrahlen räumlich von den Mitteläxten der Lichtstrahlen des Ereignisses in einem vorbestimmten Trennung Winkel getrennt werden. Dem diffractive Lichtstrahl-teilenden Element wird so, daß die Mittelmittellinie des Lichtstrahls des Ereignisses in Bezug auf den Normal zu einer Beugungsgitteroberfläche davon geneigt ist, um das Verbiegen einer Lichtstrahlpunktlinie auszugleichen, entlang der die Lichtstrahlpunkte übereinstimmen, abhängig von dem Trennung Winkel des gebogenen Oberflächenspiegels geordnet.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Film coated optical lithography elements and method of making

> Development device and development method, and image-forming device

> (none)

~ 00048