A substrate transport apparatus comprising a drive section and an articulated arm assembly. The articulated arm assembly is pivotably mounted to the drive section. The arm assembly has a first end connected to the drive section and a second end opposite the first end. An end effector is supported from the second end of the arm assembly. The articulated arm comprises a pair of opposing forearms on opposite sides of an axis of translation of the end effector. The axis of translation extends substantially over a center of the first end of the drive assembly. When the arm assembly is retracted to a home position the second end of the arm assembly is over the center of the first end of the arm assembly. Also, when the arm assembly is retracted to its home position, the opposing forearms are angled relative to the axis of translation at an angle of about 90.degree..

Ein Substrattransportapparat, der einen Antrieb Abschnitt und einen gegliederten Arm enthält. Der gegliederte Arm wird pivotably zum Antrieb Abschnitt angebracht. Der Arm hat ein erstes Ende, das an den Antrieb Abschnitt angeschlossen werden und ein zweites Ende gegenüber von dem ersten Ende. Ein ausführendes Ende wird vom zweiten Ende des Armes gestützt. Der gegliederte Arm enthält ein Paar von entgegensetzenden Unterarmen auf gegenüberliegenden Seiten einer Mittellinie der Übersetzung des ausführenden Endes. Die Mittellinie der Übersetzung verlängert im wesentlichen über einer Mitte des ersten Endes der Antriebsbaugruppe. Wenn der Arm zu einer Ausgangsposition zurückgezogen wird, ist das zweite Ende des Armes über der Mitte des ersten Endes des Armes. Auch wenn der Arm zu seiner Ausgangsposition zurückgezogen wird, sind die entgegensetzenden Unterarme im Verhältnis zu der Mittellinie der Übersetzung schräg von ungefähr 90.degree. winklig.