A ferroelectric film measuring instrument and measuring method of the same
which are able to measure the transient current during the polarization
inversion of a ferroelectric capacitor having a small capacity with high
precision. A pulse generator 10 generates a pulse signal and applies it
through a transmission line and a tip 50 to an upper electrode 62 of a
ferroelectric capacitor. The output current i.sub.FE from a lower
electrode 64 at the time of application of the pulse is converted to a
voltage V.sub.o by a resistor 30. This is amplified by a preamplifier 40
and output. The current i.sub.FE is measured by the output voltage
V.sub.o. By applying pulses having positive and negative amplitudes twice
each in succession to the upper electrode 62, measuring the output
currents when the pulses are applied, and finding the difference of the
currents according to the first and second pulses, it is possible to
eliminate the influence of the charge current of the parasitic capacity of
the transmission line, to extract only the polarization current due to the
polarization inversion of the ferroelectric, and to measure the
characteristics of the ferroelectric film with a high precision.
Ein Meßinstrument des ferroelectric Filmes und ein Meßverfahren vomselben, die sind, den vorübergehenden Strom während der Polarisationumstellung eines ferroelectric Kondensators zu messen, der eine kleine Kapazität mit hoher Präzision hat. Ein Impulsgenerator 10 erzeugt ein Impulskennzeichen und wendet es durch eine Getriebelinie und umkippen 50 an einer oberen Elektrode 62 eines ferroelectric Kondensators an. Der Ausgangsstrom i.sub.FE von einer untereren Elektrode 64 zu der Zeit der Anwendung des Impulses wird in eine Spannung V.sub.o durch einen Widerstand 30 umgewandelt. Dieses wird durch einen Vorverstärker 40 und Ausgang verstärkt. Das gegenwärtige i.sub.FE wird durch die Ausgang Spannung V.sub.o gemessen. Indem man zweimal zutrifft die Impulse, welche die positiven und negativen Umfänge jeden nacheinander auf die obere Elektrode 62 haben, den Ausgangsstrom mißt, wenn die Impulse angewendet werden, und den Unterschied der Ströme entsprechend den ersten und zweiten Impulsen findet, ist es möglich, den Einfluß des Aufladung Stromes der parasitschen Kapazität von der Getriebelinie zu beseitigen, nur den Polarisationstrom wegen der Polarisationumstellung vom ferroelectric zu extrahieren, und die Eigenschaften des ferroelectric Filmes mit einer hohen Präzision zu messen.
