A microstructure that may be used as an electrical connection in a microfabricated electro-mechanical system (MEMS) apparatus. The microstructure may have one or more isolatable electrical connections for signal transmission. The microstructure allows a MEMS apparatus to shield signal transmissions from the effects of electromagnetic interference or conductive fluids.

Eine Mikrostruktur, die als elektrischer Anschluß in a verwendet werden kann, microfabricated elektromechanischen System (MEMS) Apparat. Die Mikrostruktur kann einen oder mehr isolatable elektrischen Anschlüsse für Signalgetriebe haben. Die Mikrostruktur läßt einen MEMS Apparat Signalgetriebe von den Effekten der elektromagnetischen Störung oder der leitenden Flüssigkeiten abschirmen.