A method and instrument for measuring a vacuum ultraviolet light beam in which a position of an optical unit used for measuring a vacuum ultraviolet light beam can be adjusted easily and measurement of the vacuum ultraviolet light beam is carried out quickly. This method includes a first step of passing a ArSHG laser beam through an achromatic lens system; a second step of adjusting a position of the achromatic lens system such that the ArSHG laser beam which passed through the achromatic lens system is focused on a CCD sensor; a third step of purging the inside of a purge box by using nitrogen gas; and a fourth step of focusing an F.sub.2 laser beam which passed through the achromatic lens system on the CCD sensor so as to measure the F.sub.2 laser beam.

Een methode en een instrument voor het meten van een vacuüm ultraviolette lichtstraal waarin een positie van een optische eenheid die voor het meten van een vacuüm ultraviolette lichtstraal wordt gebruikt gemakkelijk kan worden aangepast en meting van de vacuüm ultraviolette lichtstraal worden snel uitgevoerd. Deze methode omvat een eerste stap van het overgaan van een laserstraal ArSHG door een achromatisch lenssysteem; een tweede stap van het aanpassen van een positie van het achromatische lenssysteem dusdanig dat de laserstraal ArSHG die door het achromatische lenssysteem overging wordt geconcentreerd op een sensor CCD; een derde stap van het zuiveren van de binnenkant van een zuiveringsdoos door stikstofgas te gebruiken; en een vierde stap van het concentreren van een laserstraal F.sub.2 die door het achromatische lenssysteem op de sensor CCD overging om de laserstraal te meten F.sub.2.