An apparatus and method for verifying a process step in the fabrication of an integrated circuit device is implemented. A ring oscillator is fabricated on the dice constituting the integrated circuit device being manufactured. The ring oscillator structure is adapted for sensitizing the ring oscillator to variations in the process step being verified. During test of the wafer containing the dice, a scan of the frequency of the ring oscillator across the wafer for each die under test is made. Deviations in the ring oscillator frequency from a preselected nominal value delimit regions of the wafer for which the process step is marginal.

Een apparaat en een methode om een processtap in worden de vervaardiging van een apparaat van geïntegreerde schakelingen te verifiëren uitgevoerd. Een ringsoscillator wordt vervaardigd op dobbelt het vormen van het apparaat dat van geïntegreerde schakelingen wordt vervaardigd. De structuur van de ringsoscillator wordt aangepast voor het gevoelig maken van de ringsoscillator aan variaties in de processtap die wordt geverifieerd. Tijdens test van wafeltje bevatten dobbel, wordt een aftasten van de frequentie van de ringsoscillator over het wafeltje voor elke matrijs in onderzoek gemaakt. De afwijkingen in de frequentie van de ringsoscillator van een voorgeselecteerde nominale waarde bakenen gebieden van het wafeltje af waarvoor de processtap marginaal is.