A method for quantifying the texture homogeneity of a polycrystalline material is described. The method involves selecting a reference pole orientation; scanning in increments a cross-section of the polycrystalline material having a thickness with scanning orientation imaging microscopy or other measuring technique to obtain actual pole orientations of a multiplicity of grains throughout the cross-section of the polycrystalline material. The orientation differences between the reference pole orientation and actual pole orientations of a multiplicity of grains is then determined. A value of misorientation from the reference pole orientation at each grain measured throughout the thickness is then assigned. The average misorientation of each measured increment throughout the thickness is then determined. A texture gradient and/or texture banding can then be obtained by determining the first and/or second derivative, respectively, of the average misorientation of each measured increment through the thickness of the sample used for evaluation. A method to predict the sputtering efficiency of a target is also described as well as a system for quantifying the texture homogeneity of a polycrystalline material.

Une méthode pour mesurer la homogénéité de texture d'un matériel polycristallin est décrite. La méthode implique de choisir une orientation de poteau de référence ; balayant dans les incréments une section transversale du matériel polycristallin ayant une épaisseur avec la microscopie de formation image d'orientation de balayage ou toute autre technique de mesure pour obtenir des orientations réelles de poteau d'une multiplicité de grains dans toute la section transversale du matériel polycristallin. Les différences d'orientation entre l'orientation de poteau de référence et les orientations réelles de poteau d'une multiplicité de grains est alors déterminées. Une valeur de misorientation de l'orientation de poteau de référence à chaque grain mesuré dans toute l'épaisseur est alors assignée. Le misorientation moyen de chaque incrément mesuré dans toute l'épaisseur est alors déterminé. Un gradient de texture et/ou des bandes de texture peuvent alors être obtenus en déterminant le premier et/ou deuxième dérivé, respectivement, du misorientation moyen de chaque incrément mesuré par l'épaisseur de l'échantillon utilisé pour l'évaluation. Une méthode pour prévoir l'efficacité de pulvérisation d'une cible est également décrite comme un système pour mesurer la homogénéité de texture d'un matériel polycristallin.