Methods and apparatus for optically probing an electrical device while the device is operating under control of a tester of the kind that applies test vectors and that has a test head in which the device can be mounted. An optical probe system has a light delivery and imaging module that is configured to be docked to a test head and that has imaging optics and a fine scanner. An optical processing subsystem can generate an incoming beam of light to illuminate the device through an optical fiber to a fiber end in the module. The fiber end is mounted in a fixed position on the optical axis of the imaging optics, and the fiber end and imaging optics are mounted in a fixed position to the platform of the fine scanner. Operating the fine scanner moves the fiber end, the imaging optics, the optical axis, and the focal point as a rigid unit.

Οι μέθοδοι και η συσκευή για οπτικά μια ηλεκτρική συσκευή ενώ η συσκευή λειτουργεί υπό έλεγχο ενός ελεγκτή του είδους που εφαρμόζει τα διανύσματα δοκιμής και που έχουν ένα κεφάλι δοκιμής στο οποίο η συσκευή μπορεί να τοποθετηθεί. Ένα οπτικό σύστημα ελέγχων έχει μια ελαφριά ενότητα παράδοσης και απεικόνισης που διαμορφώνεται για να ελλιμενιστεί σε ένα κεφάλι δοκιμής και που έχει την οπτική απεικόνισης και έναν λεπτό ανιχνευτή. Ένα οπτικό υποσύστημα επεξεργασίας μπορεί να παραγάγει μια εισερχόμενη ακτίνα του φωτός για να φωτίσει τη συσκευή μέσω μιας οπτικής ίνας σε ένα τέλος ινών στην ενότητα. Το τέλος ινών τοποθετείται σε μια σταθερή θέση στον οπτικό άξονα της οπτικής απεικόνισης, και η οπτική τελών και απεικόνισης ινών τοποθετείται σε μια σταθερή θέση στην πλατφόρμα του λεπτού ανιχνευτή. Να ενεργοποιήσει το λεπτό ανιχνευτή κινεί το τέλος ινών, την οπτική απεικόνισης, τον οπτικό άξονα, και το σημείο εστίασης ως άκαμπτη μονάδα.