A method of purifying tetraethylorthosilicate (TEOS) to remove boron impurities therefrom, and a related method of analyzing TEOS to determine concentration of boron impurities therein.

Eine Methode des Reinigens von von tetraethylorthosilicate (TEOS) um Borverunreinigungen daher zu entfernen und eine in Verbindung stehende Methode des Analysierens von von TEOS, um Konzentration der Borverunreinigungen darin festzustellen.