A method of measuring overlay error comprises forming a first mask having a first alignment array comprising a periodic pattern of first features having a first periodicity, forming a second mask having a second alignment array comprising a pattern of second features having the first periodicity, the first alignment array being adjacent the second alignment array, the first alignment array and the second alignment array forming a combined alignment array, transforming the combined alignment array to produce a transformed array, selecting a first region within the transformed array, inverse transforming the region to produce geometric phase shift information, averaging the phase shift information, converting the averaged phase shift information into a value for misalignment in a first direction corresponding to the first region, repeating the selecting, inverse transforming, averaging and converting using a second region within the transformed array to calculate a value for misalignment in a second direction corresponding to the second region, calculating an overlay error between the first and second mask levels by adding the components of misalignment in the first direction and second direction.

Une méthode de mesurer l'erreur de recouvrement comporte former un premier masque ayant une première rangée d'alignement comporter un modèle périodique des premiers dispositifs ayant une première périodicité, formant un deuxième masque ayant une deuxième rangée d'alignement comporter un modèle des deuxièmes dispositifs ayant la première périodicité, la première rangée d'alignement étant adjacente la deuxième rangée d'alignement, la première rangée d'alignement et la deuxième rangée d'alignement formant une rangée combinée d'alignement, transformant la rangée combinée d'alignement pour produire une rangée transformée, choisissant une première région dans la rangée transformée, inverse transformant la région pour produire l'information géométrique de déphasage, faisant la moyenne de l'information de déphasage, convertissant l'information ramenée à une moyenne de déphasage en valeur pour la déviation d'alignement dans une première direction la correspondance à la première région, répétant le choix, la transformation inverse, faire la moyenne et convertir en utilisant une deuxième région dans la rangée transformée pour calculer une valeur pour la déviation d'alignement dans une deuxième direction correspondant à la deuxième région, calculant une erreur de recouvrement entre le premier et deuxième masque nivelle en ajoutant les composants de la déviation d'alignement dans la première direction et la deuxième direction.