A MEMS apparatus is provided that includes a microelectronic substrate and an elevating structure having a fixed portion attached to the substrate and a distal portion raised from the surface of the substrate. The distal portion of the elevating structure defines at least one zone of attachment. Additionally, the MEMS apparatus comprises a MEMS device attached to the distal portion of the elevating structure at one of the zones of attachment. The attached MEMS device may comprise an electrostatic actuator having a first and second electrode film that are attached to the elevating structure at one of the zones of attachment. In those embodiments in which the MEMS devices comprise an electrostatic actuator the force and movement provided by the actuator may be used to incorporate switches, pumps, valves or other similar MEMS devices.

Um instrumento de MEMS é contanto que inclui uma carcaça microelectronic e uma estrutura elevating que têm uma parcela fixa unida à carcaça e uma parcela distal levantada da superfície da carcaça. A parcela distal da estrutura elevating define ao menos uma zona do acessório. Adicionalmente, o instrumento de MEMS compreende um dispositivo de MEMS unido à parcela distal da estrutura elevating em uma das zonas do acessório. O dispositivo unido de MEMS pode compreender um atuador eletrostático que tem uma primeira e segunda película do elétrodo que seja unida à estrutura elevating em uma das zonas do acessório. Naquelas incorporações em que os dispositivos de MEMS compreendem um atuador eletrostático a força e o movimento fornecidos pelo atuador podem ser usados incorporar interruptores, bombas, válvulas ou outros dispositivos similares de MEMS.