A suspension supports a slider for use with a microactuator. The suspension includes a suspension arm attachment pad and a slider attachment pad, connected together by microbeams. A first plurality of microbeams run side-by-side and extend on one side of the suspension, and a second plurality of microbeams run side-by-side and extending on the other side of the suspension. The microbeams preferably include a web and at least one flange which is wider than the web, such as in an "I" shape. The suspension is fabricated out of a single crystal silicon wafer with photolithographic techniques, including doping a surface of the wafer and etching the interior of the wafer to form the "I" shaped microbeams. The microbeams of the present invention make the suspension more flexible in the lateral direction while supporting the preload force on the slider in the vertical direction.

Une suspension soutient un glisseur pour l'usage avec un microactuator. La suspension inclut une garniture d'attachement de bras de suspension et une garniture d'attachement de glisseur, reliées ensemble par des microbeams. Une première pluralité de microbeams courus côte à côte et se prolongent sur un côté de la suspension, et une deuxième pluralité de microbeams courus côte à côte et se prolongeant de l'autre côté de la suspension. Les microbeams incluent de préférence un enchaînement et au moins une bride qui est plus large que l'enchaînement, tel que dedans une forme d'"I". La suspension est fabriquée hors d'une gaufrette de silicium de cristal simple avec des techniques photolithographic, y compris enduire une surface de la gaufrette et graver à l'eau-forte l'intérieur de la gaufrette pour former les microbeams formés de "I". Les microbeams de la présente invention rendent la suspension plus flexible dans la direction latérale tout en soutenant la force de charge initiale sur le glisseur dans la direction verticale.