The present invention relates to the calibration and alignment of an X-ray reflectometry ("XRR") system for measuring thin films. An aspect of the present invention describes a method for accurately determining C.sub.0 for each sample placement and for finding the incident X-ray intensity corresponding to each pixel of a detector array and thus permitting an amplitude calibration of the reflectometer system. Another aspect of the present invention relates to a method for aligning an angle-resolved X-ray reflectometer that uses a focusing optic, which may preferably be a Johansson crystal. Another aspect of the present invention is to validate the focusing optic. Another aspect of the present invention relates to the alignment of the focusing optic with the X-ray source. Another aspect of the present invention concerns the correction of measurements errors caused by the tilt or slope of the sample. Yet another aspect of the present invention concerns the calibration of the vertical position of the sample.

Присытствыющий вымысел относит к тарировке и выравниванию системы рефлектометрии рентгеновского снимка ("XRR") для измерять тонкие пленки. Аспект присытствыющего вымысла описывает метод для точно обусловливать C.sub.0 для каждого размещения образца и для находить, что интенсивность рентгеновского снимка случая соответствовала к каждому пикселу блока детектора и таким образом позволяла тарировка амплитуды системы рефлектометра. Другой аспект присытствыющего вымысла относит к методу для выравнивать угл-razrewenny1 рефлектометр рентгеновского снимка использует фокусировать optic, который может предпочтительн быть кристалл Johansson. Другой аспект присытствыющего вымысла должен утвердить фокусировать optic. Другой аспект присытствыющего вымысла относит к выравниванию фокусировать optic с источником рентгеновского снимка. Другой аспект присытствыющего вымысла относится коррекция ошибок измерений причиненных наклоном или наклоном образца. Yet another аспект присытствыющего вымысла относится тарировка вертикального положения образца.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Method and apparatus for generating a database of road sign images and positions

> High-power semiconductor laser device having current confinement structure and index-guided structure and oscillating in transverse mode

> (none)

~ 00045