In most cases, a hot, corrosive atmosphere is created in, for example, a semiconductor wafer processing chamber. When an arm including belts, such as steel belts, is moved into such a semiconductor wafer processing chamber, the belts are exposed to the hot, corrosive atmosphere. Belts, such as steel belts, have limited heat resistance and corrosion resistance and the hot, corrosive atmosphere in the processing chamber shortens the life of the belts. A carrying device of the present invention has a frog leg type arm (3) and a wafer holder (4) connected to the frog leg type arm (3). The wafer holder (4) is pivotally connected to front end parts of a first front arm (8A) and a second front arm (8B) by coaxial joints (10). The wafer holder (4) is linked to the first front arm (8A) and the second front arm (8B) by a posture maintaining linkage (5) including two antiparallel linkages capable of controlling the turning of the wafer holder (4) relative to the first and the second front arms (8A, 8B).

Nella maggior parte dei casi, un atmosfera caldo e corrosivo è generato dentro, per esempio, una cialda a semiconduttore che procede l'alloggiamento. Quando un braccio compreso le cinghie, quali le cinghie d'acciaio, è trasfito in una tal cialda a semiconduttore che procede l'alloggiamento, le cinghie sono esposte all'atmosfera caldo e corrosivo. Le cinghie, quali le cinghie d'acciaio, hanno limitato la resistenza termica e la resistenza della corrosione e l'atmosfera caldo e corrosivo nell'alloggiamento d'elaborazione riduce la durata delle cinghie. Un dispositivo trasportante di presente invenzione ha un tipo della coscia di rana il braccio (3) e un supporto della cialda (4) collegato al tipo della coscia di rana il braccio (3). Il supporto della cialda (4) come un perno è collegato alle parti dell'estremità anteriore di un primo braccio della parte anteriore (8A) e di un secondo braccio della parte anteriore (8B) dai giunti coassiali (10). Il supporto della cialda (4) è collegato al primo braccio della parte anteriore (8A) ed al secondo braccio della parte anteriore (8B) da un collegamento effettuante di posizione (5) compreso due collegamenti del antiparallel capaci di controllo della rotazione del supporto della cialda (4) riguardante la prima e della seconda armi della parte anteriore (8A, 8B).