A method and system for estimating the roughness and the contamination of a surface. A preferred embodiment of the present invention makes use of a mathematical model which gives indications of the metal roughness, expressed as the ratio of metal volume to air volume, and the contamination thickness values of a metal substrate (e.g. gold) for a determined contamination (e.g. organic). This model is based on a series of tables which represent the expected values of .psi., i.e. the ratio between the amplitudes of the incident beam on the two polarization planes multiplied by the ratio of the amplitudes of the reflected beam on the polarization planes, and .DELTA., i.e. the difference between the phases on the two polarization planes of the incident beam and the reflected beam, for a gold substrate having a predetermined roughness and a predetermined type of contamination (organic). Each table is built for a roughness value .phi. expressed as the ratio of metal volume to air volume and gives the values of .psi. and .DELTA. for a range of possible contaminations expressed as thickness of the contaminant film. Each table shows, for a predetermined value of .phi., the expected values of .psi. and .DELTA. for an organic contaminant film having a thickness of 0, 10 . . . 100 Angstrom.

Een methode en een systeem om de ruwheid en de verontreiniging van een oppervlakte te schatten. Een aangewezen belichaming van de onderhavige uitvinding maakt gebruik van een wiskundig model dat aanwijzingen van de metaalruwheid geeft, die als verhouding van metaalvolume worden uitgedrukt aan luchtvolume, en de waarden van de verontreinigingsdikte van een metaalsubstraat (b.v. goud) voor een bepaalde verontreiniging (b.v. organisch). Dit model is gebaseerd op een reeks lijsten die de verwachte waarden van psi. vertegenwoordigen, d.w.z. de verhouding tussen de omvang van de inherente straal op de twee polarisatievliegtuigen die met de verhouding van de omvang van de weerspiegelde straal op de polarisatievliegtuigen worden vermenigvuldigd, en. DELTA, d.w.z. het verschil tussen de fasen op de twee polarisatievliegtuigen van de inherente straal en de weerspiegelde straal, voor een gouden substraat een vooraf bepaalde ruwheid hebben en een vooraf bepaald type die van (organische) verontreiniging. Elke lijst wordt voor een ruwheidswaarde gebouwd phi. die als verhouding van metaalvolume wordt uitgedrukt aan luchtvolume en geeft de waarden van psi. en. DELTA voor een waaier van mogelijke verontreiniging die als dikte van de verontreinigende stoffilm worden uitgedrukt. Elke lijst toont, voor een vooraf bepaalde waarde van phi., de verwachte waarden van psi. en. DELTA voor een organische verontreinigende stoffilm die een dikte van 0..10 heeft. .. 100 Angstrom.