A system and method for predicting yield of integrated circuits includes at least one type of characterization vehicle which incorporates at least one feature which is representative of at least one type of feature to be incorporated in the final integrated circuit product. The characterization vehicle is subjected to at least one of the process operations making up the fabrication cycle to be used in fabricating the integrated circuit product in order to produce a yield model. The yield model embodies a layout as defined by the characterization vehicle and preferably includes features which facilitate the gathering of electrical test data and testing of prototype sections at operating speeds. An extraction engine extracts predetermined layout attributes from a proposed product layout. Operating on the yield model, the extraction engine produces yield predictions as a function of layout attributes and broken down by layers or steps in the fabrication process. These yield predictions are then used to determine which areas in the fabrication process require the most improvement.

Een systeem en een methode om opbrengst van geïntegreerde schakelingen te voorspellen omvatten minstens één type van karakteriseringsvoertuig dat minstens één eigenschap opneemt die voor minstens één type van eigenschap dat in het definitieve product van geïntegreerde schakelingen moet worden opgenomen representatief is. Het karakteriseringsvoertuig wordt aan minstens één van de procesverrichtingen onderworpen die omhoog de vervaardigingscyclus die in het vervaardigen van het product maken van geïntegreerde schakelingen moet worden gebruikt om een opbrengstmodel op te stellen. Het opbrengstmodel neemt een lay-out op zoals die door het karakteriseringsvoertuig wordt bepaald en omvat bij voorkeur eigenschappen die het verzamelen van elektrotestgegevens en het testen van prototypesecties bij werkende snelheden vergemakkelijken zich. Een extractiemotor haalt vooraf bepaalde lay-outattributen uit een voorgestelde productlay-out. Werkend op het opbrengstmodel, veroorzaakt de extractiemotor opbrengstvoorspellingen als functie van lay-outattributen en opgesplitst door lagen of stappen in het vervaardigingsproces. Deze opbrengstvoorspellingen worden dan gebruikt om te bepalen welke gebieden in het vervaardigingsproces de meeste verbetering vereisen.