An inspection system and method for inspecting a sidewall of a wafer to detect a wafer having a sidewall defect. The inspection system includes, a wafer revolver driven by a driving source for rotating the wafer, an image capturing unit for capturing image information of the sidewall of the wafer rotating by the wafer revolver, and an analyzer comparing captured image data to image data of a desired wafer sidewall and determining whether the inspected wafer is acceptable in accordance with the comparison. The image capturing unit may include an illuminator for illuminating the sidewall of the wafer rotated by the wafer revolver and a detector for capturing image data for the sidewall of the wafer illuminated by the illuminator.

Un sistema e un metodo di controllo per il controllo del muro laterale di una cialda per rilevare una cialda avere un difetto del muro laterale. Il sistema di controllo include, un revolver della cialda guidato da una fonte movente per la rotazione della cialda, un'unità bloccante di immagine per le informazioni bloccanti di immagine del muro laterale della cialda che ruota dal revolver della cialda e un analizzatore che confronta i dati bloccati di immagine ai dati di immagine di un muro laterale voluto della cialda e che determina se la cialda controllata sia accettabile in conformità con il confronto. L'unità bloccante di immagine può includere una lampadina per illuminare il muro laterale della cialda ruotata dal revolver della cialda e da un rivelatore per i dati bloccanti di immagine per il muro laterale della cialda illuminata dalla lampadina.