A composition represented by the formula Si.sub.1-x Ge.sub.x O.sub.2(1-y) N.sub.1.33y, wherein x is from about 0.05 to about 0.6 and y is from about 0.14 to about 0.74 exhibits properties highly suited for use in fabricating waveguides for liquid crystal based optical devices. In particular, the compositions have an index of refraction of from about 1.6 to about 1.8 for light at a wavelength of 1550 nm, and/or a coefficient of thermal expansion of from about 2.5.times.10.sup.-6.degree. C.sup.-1 to about 5.0.times.10.sup.-6.degree. C..sup.-1. The compositions also have inherently low hydrogen content, and a high hydrogen permeability which allows better hydrogen removal by thermal annealing to provide a material which exhibits low optical losses and better etching properties than alternative materials.

Una composición representada por el fórmula Si.sub.1-x Ge.sub.x O.sub.2(1-y) N.sub.1.33y, en donde x es de cerca de 0.05 a cerca de 0.6 y a y es de cerca de 0.14 a cerca de 0.74 característica de los objetos expuestos satisfecha altamente para el uso en las guías de onda que fabrican para los dispositivos ópticos basados cristal líquido. En detalle, las composiciones tienen índice de refracción de de cerca de 1.6 a cerca de 1.8 para la luz en una longitud de onda de nm 1550, y/o un coeficiente de extensión termal alrededor de 2.5.times.10.sup.-6.degree. C.sup.-1 alrededor a 5.0.times.10.sup.-6.degree. C..sup.-1. Las composiciones también tienen el contenido intrínsecamente bajo del hidrógeno, y una alta permeabilidad del hidrógeno que permita que un retiro mejor del hidrógeno por el recocido termal proporcione un material que exhiba pérdidas ópticas bajas y características mejores de la aguafuerte que los materiales alternativos.