Dummy wafers of SiC having low light transmission properties to light from the light source of a photo-sensor are used, and when wafers undergoes a heat treatment, the dummy wafers are transferred from a wafer cassette to a wafer boat in which the number of dummy wafers and a state of arrangement of the wafers are detected or monitored.

Blinde Oblaten von SiC, welches die niedrigen Eigenschaften des hellen Getriebes, zum von der Lichtquelle eines Fotosensors zu beleuchten hat, werden benutzt, und wenn Oblaten eine Wärmebehandlung durchmacht, werden die blinden Oblaten von einer Oblatekassette auf ein Oblateboot gebracht, in dem die Zahl blinden Oblaten und ein Zustand der Anordnung für die Oblaten ermittelt oder überwacht werden.