A micrometer sized multi-directional thermal actuator capable of repeatable and rapid displacement in a substantially horizontal direction, a substantially vertical direction, and/or a combination thereof. The multi-directional thermal actuator constructed on a surface of a substrate includes three or more beams each cantilevered from one or more anchors at a first end to extend generally parallel to the surface of the substrate. A member mechanically and electrically couples the distal ends of the beams. Application of current to a circuit comprising combinations of any two or more of the beams displaces the member in one of three or more non-parallel radial directions, respectively.

Ein Mikrometer sortierte den richtungsunabhängigen thermischen Auslöser, der zur wiederholbaren und schnellen Versetzung in einer im wesentlichen horizontalen Richtung, in einer im wesentlichen vertikalen Richtung und/oder in einer Kombination davon fähig ist. Der richtungsunabhängige thermische Auslöser, der auf einer Oberfläche eines Substrates konstruiert wird, schließt drei mit ein oder mehr strahlt jedes, das von einem oder mehr Ankern an einem ersten Ende, um im Allgemeinen paralleles zur Oberfläche des Substrates zu verlängern freitragend ist. Ein Mitglied mechanisch und verbindet elektrisch die distalen Enden der Lichtstrahlen. Anwendung des Stromes zu einem Stromkreis, der Kombinationen von irgendwelchen zwei enthalten oder zu mehr der Lichtstrahlen verlegt das Mitglied in einem von drei oder nicht parallelere Radialrichtungen, beziehungsweise.